CF4 Gaz

Tetrafluorometan, znany również jako tetrafluorek węglowy lub r -14, jest najprostszym perfluorowęglowodorem (CF4). Jak wskazuje nazwa IUPAC, tetrafluorometan jest perfluorowanym odpowiednikiem metanu węglowodorów. Można go również zaklasyfikować jako haloalkan lub halometan. Tetrafluorometan jest przydatnym czynnikiem chłodniczym, ale także silnym gazem cieplarnianym. Ma bardzo wysoką siłę wiązania ze względu na charakter wiązania węgla -fluorine.

Tetrafluorek węglowy

CAS: 75-73-0

ON: 1982

Einecs: 200-896-5

Wzór molekularny: CF4

CF4 gas dominates silicon and silicon nitride etching in chip manufacturing, accounting for 45% of all fluorocarbon gases used in fabs. When ionized in plasma, CF4 gas generates reactive fluorine species that etch at rates up to 1 μm/min with excellent anisotropy. Gas mixtures with oxygen or hydrogen allow precise control of selectivity and sidewall profiles. Environmental abatement systems for CF4 gas achieve >98% skuteczność niszczenia przy użyciu spalania na poziomie 1100 stopni, a następnie szorowanie. Przejście do litografii ekstremalnej ultrafioletowej (EUV) zwiększyło zużycie gazu CF4 o 20% w celu czyszczenia fotomasków.

Tetrafluorometan jest czasami stosowany jako czynnik chłodniczy w niskiej temperaturze (R -14). Jest stosowany w samym mikrofabrykowaniu elektronicznym lub w połączeniu z tlenem jako etykant w osoczu dla krzemu, dwutlenku krzemu i azotku krzemu. Ma również zastosowania w detektorach neutronów

• Zawsze używaj zgodnie z arkuszem danych bezpieczeństwa (SDS).
• Cylinder musi być przechowywany i używany w pozycji pionowej, zabezpieczonej w dobrze wentylowanym lub monitorowanym obszarze.
• Zawsze postępuj zgodnie z lokalnymi wymaganiami kodeksu pożarowego podczas przechowywania cylindrów gazowych.
• Główne zagrożenia: pożar, uduszenie.

Jiangsu Mr Chemical Co., Ltd, stoi na czele innowacji w dziedzinie produkcji gazowych, specjalizującej się w pełnym spektrum standardowych gazów, gazów specjalnych, gazów o wysokiej walce i elektronicznych, siłach elektrycznych, wysyłkowym, mocy elektrycznej, wysyłkowej, mocy elektronicznej, mocy elektrycznej, wysyłkowej, mocy elektrycznej, mocy elektrycznej, mocy elektrycznej, mocy elektrycznej, mocy elektrycznej, mocy elektrycznej, mocy elektrycznej. Automobile, medyczne, ochrona przeciwpożarowa, przemyśle lotnicze, żywność, budownictwo, wytapanie, drobne chemikalia, przetwarzanie i produkcja.

Popularne Tagi: CF4 Gas, Chiny CF4 Producenci, dostawcy, fabryka, Tetrafluorek węglowy R14czysty helTetrafluorek węglowy o wysokiej czystościGaz czynnika chłodniczego R14 Tetrafluorek węglowy